超細(xì)微零件加工
超細(xì)微零件加工技術(shù)是X射線深層光刻、微電鑄和微塑鑄三個(gè)工藝的組合。該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是能夠制造出復(fù)雜的三維微型零件,使得傳統(tǒng)工藝所無(wú)法做到的超小型部件成為可能。使用該技術(shù)可以加工有機(jī)高分子材料、各種純金屬和陶瓷等,并且可以利用微復(fù)制工藝進(jìn)行微型零件的大批量生產(chǎn)。
超細(xì)微零件加工技術(shù)是X射線深層光刻、微電鑄和微塑鑄三個(gè)工藝的組合。該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是能夠制造出復(fù)雜的三維微型零件,使得傳統(tǒng)工藝所無(wú)法做到的超小型部件成為可能。使用該技術(shù)可以加工有機(jī)高分子材料、各種純金屬和陶瓷等,并且可以利用微復(fù)制工藝進(jìn)行微型零件的大批量生產(chǎn)。
高硬度材料一直困擾超精密加工的技術(shù)難題,例如鎢鋼、淬硬鋼、高速鋼、鈦合金、高溫合金、冷硬鑄鐵,如果加工易彎曲變形的細(xì)長(zhǎng)軸類零件,超細(xì)微孔、薄壁零件,薄盤類零件與小徑精密螺紋以及形狀復(fù)雜、加工精度與粗糙度有較高要求的時(shí)候,很難找到有效的加工方法。不同的要求采用不同的加工工藝顯得尤其重要。
新云采用灰度光刻和雙光子光刻技術(shù),通過(guò)光刻的3D微納結(jié)構(gòu),用于生物醫(yī)藥行業(yè)的專用器件制作。也可以再?gòu)?fù)制出金屬的微納結(jié)構(gòu)模具,制作出注塑和納米壓印的模具。